在半导体、新能源、航空航天等制造领域,产品性能的极限往往取决于微观表面的形貌质量。如何在不损伤样品的前提下,快速、精准地获取纳米至微米级的3D表面数据?南京凯视迈科技有限公司推出的高精度白光干涉仪KC-X3000系列,以“三合一”集成设计与非接触式光谱共焦技术,给出了国产精密测量的优解。

一、三合一集成设计,改变传统检测模式
KC-X3000系列作为全新一代3D测量显微镜,打破了传统仪器功能单一的局限,在一台设备上集成了形貌扫描、超景深观察、融合测量三大核心功能,可直接替代传统三维形貌仪、超景深显微镜及轮廓测量仪,大幅降低设备投入与操作复杂度。
形貌扫描:基于光谱共焦技术,可实现150mm×120mm大区域扫描,精准捕获样品表面凹凸、纹理、微织构及缺陷,生成基于高度的彩色三维点云,非接触式测量避免了软质或精密样品的划伤风险。
超景深观察:支持180mm×110mm拼接范围与100mm深度合成,通过多色可控光与多分区照明控制,解决了透明、强反光及弱反光样品的观测难题,呈现全景对焦清晰的立体图像。
融合测量:依托全新一代图像分析软件,构建了从基础几何测量、平面/轮廓分析到体积面积计算、表面质量评价的完整体系,所有数据可量化、可视化并支持导出,严格遵循国际测量标准。
二、全行业覆盖,从科研到量产的质量守门人
该设备适配透明、高反光、弱反光等多材质样品,覆盖微米级到米级的多尺度测量需求,广泛服务于前沿科研与工业量产:
半导体与微电子:用于硅片划痕/缺陷检测、晶圆铜柱凸块测量及MEMS芯片微观结构检测,以非接触式高精度扫描提升芯片生产良率。
新能源(锂电/光伏):可分析电池极片表面形貌与涂层均匀性,检测光伏电池片平面度及微织构,多线程工作流适配大批量检测需求。
精密加工与航空航天:适用于发动机叶片磨损检测、轴承滚子质量评价及3C产品(如PCB线宽、手机面板划痕)的精密品控,保障高可靠性零件的公差与性能。
新材料与科研:为石墨烯、泡沫金属、水凝胶等新型材料的形貌分析提供精准量化数据,同时也适用于文物微形貌的无损成像分析。
三、本土化服务,为精密制造保驾护航
作为深耕光学精密测量技术领域的国产企业,凯视迈不仅提供高性能的KC系列白光干涉仪,更配套了服务体系:支持免费样机演示、上门安装培训及定制方案设计;售后响应快速,提供软件终身升级与硬件延保服务,确保用户在科研探索与工业生产中无后顾之忧。